Sell CF4(Carbon tetrafluoride)

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Quick Details
CAS No.: ******0
Other Names: Carbon tetrafluoride 
MF: CF4
EINECS No.: ********5
Place of Origin: China (Mainland)
Grade Standard: Industrial Grade, Medicine Grade, Electron Grade
Purity: *9.**9%
Appearance: Colorless
Application: insulate
Brand Name: OEM service
Model Number: no
Color: colorless
Toxic: non-toxic
 
Packaging & Delivery
Packaging Details: standard sea transportation: Steel Cylinders / DOT Cylinders / EN***4 Cylinders
Delivery Detail: Shipment will be in *5 days after receipt of deposit

Introduction & Application
Carbon Tetrafluoride, CF4 is non-toxic, colorless gas, and used for refrigerate,
gas insulate,liquidizer, Finishing Agent
Carbon Tetrafluoride is a source of fluorine or carbon fluoride free radicals used in a variety of wafer etch
processes. Carbon Tetrafluoride is used with oxygen to etch polysilicon, silicon dioxide, and silicon nitride. Carbon Tetrafluoride is relatively inert under normal conditions and is an asphyxiant. Under RF plasma conditions, the fluorine free radicals are typically in the form of CF3 or CF2. A higher purity Carbon Tetrafluoride results in superior control of the process, which results in better dimensional and profile control. Other halocarbons, as well as the presence of air or oxygen, are detrimental to the control of the anisotropic etc