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联系人 Simon

No.88, Jinshuei St.,, Hsinchu, Other

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产品规格

  • MEASURING RANGE:X/Y :400ï½2000mmããZ : 50ï
  • VISION:Keyence VK-X210
  • OPERATION:CNC program
  • DRIVE:AC Servo Motors+Joystick
  • GRANITE TABLE:DIN. 876, 0 GRADE
  • OPTION:Renishaw Scale 0.5 um or 0.1 um

详情

   

 


由本公司製造的 G*-type 機型,係為搭配 3D雷射共軛焦掃瞄顯微鏡及VHX超景深數位顯微鏡的高效抗震電動機型。除了本機型在大範圍移動及定位過程中保持穩定性,並且在高度及線距的自動重覆*0次量測更可達到*0奈米以下的可靠度,而這樣的性能則必須建立此款在搭配**0物鏡時仍然保持穩定不晃動的高效能防震設計。
 

 

 
機型 電動龍門定柱型機構(G*-Type)
量測行程 X/Y :**0~***0mm  Z : *0~**0mm
線性精度 U1xyz ( 5 + 5L / ***0 ) um / ±3um (選配)
操作方式 萬向搖桿搭配電子手輪亦可選配專用軟體介面操控
光學尺 Mitutoyo 光學尺 / RENISHAW 光學尺
驅動方式 伺服馬達 + 滾珠螺桿
移動速度 MAX **0mm/sec (最小移動單位為 1um)
量測系統 可搭配任何光學系統或儀器
平台材質 花崗岩平台
載物平台
(選配)
強化玻璃平台(標準配備)/花崗岩平台(大型模具專用)
多段式真空平台(大型薄件專用)
真空旋轉平台(晶圓及晶圓鐵框架專用)
量測軟體 可搭配市售各款影像量測軟體/專用軟體(選配)
使用電壓 可指定使用 (AC**0/**0 *0HZ *0A)
 
量測行程:可依實際需求製訂行程。
線性精度:絕對線性精度將依光學尺規格為準。

量測系統:搭配Keyence VK / VHX / NIKON / OLYMPUS 等光學系統。
產線機型或大型程機型若需搭配3D共軛焦顯微鏡,建議採用雙系統或多系統,
單一機身即可使用不同系統,各系統並獨立操作,互不干擾,真正做到一機多用。

国家: Taiwan
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